Spin Etcher
ELS1700 Series
觀看設備規格：
- ELS1700 Series
| Wafer Size： | 50mm ~ 300mm wafer |
| LD/ULD： | 2 Cassette |
| Robot ： | Dual Arms |
| Clean Class： | Class 100 with HEPA |
| Chamber： | 2 ~ 4 |
|
Spin Speed： Acceleration： |
30 ~ 4000 rpm 4000 rpm / sec. |
| Chemical： |
Dispense：Stream or Spray Nozzle：1 ~ 4 nozzle/cup |
| Edge / Back Side Rinse： | Yes |
| Chemical Recycle： | Yes |
| Variable Arm Speed： | Yes |
| System Control： | PC Base |
| PLC Sequencer： | Mitsubishi Q series |
| Option： |
EFEM RF ID Reader Chemical Temperature Control System SECS/GEM |
