Spin Stripper
ELS2300 Series
觀看設備規格：
- ELS2300 Series
| Wafer Size： | 50mm ~ 300mm wafer |
| LD/ULD： | 2 Cassette |
| Robot： | Dual Arms |
| Clean Class： | Class 100 with HEPA |
| Soaking Tank： | 1 ~ 2 |
| Chemical： |
Temperature Control System Recycle |
| HPC Chamber： | 1 ~ 2 |
| Spin Speed： | 30 ~ 4000 rpm |
| High Pressure Nozzle： |
Stream / Spray / MCM® Type Pressure Control By Recipe |
| Chemical： |
Temperature Control System Recycle / Fresh ( Programmable ) |
| Top / Back Side Rinse： | Yes |
| TCM Chamber： | 1 |
| Nozzle： | TCM® Type ( Mixed DIW & N2 or CDA ) |
| Top / Back Side Rinse： | Yes |
| Cleaner Chamber： | 1 ~ 2 |
| Nozzle： | Stream type |
| Chemical： | IPA / DIW / ACE (option) |
| Top / Back Side Rinse： | Yes |
| CO2 Bubble System： | Yes |
| Safety： | Automatic Fire Extinguishing System |
| System Control： | PC |
| PLC Sequencer： | Mitsubishi Q series |
| Option： |
EFEM RFID Reader Hot DIW System Hot N2 System SECS/GEM |
